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项目介绍:

CINNO Research 产业资讯JSR株式会社近日公布,已经完成对Inpria Corporation (以下简称为:“Inpria公司”)的增资。此次增加的投资将会成为Inpria公司C轮融资的一部分,而此次C轮融资是Inpria公司以推进EUV极紫外光刻的商业化为目的而募集的。


根据JSR官网报道,Inpria公司自成立以来,一直致力于研发含有非化学放大类的极紫外光刻,现在,以锡氧化物为主要成分的光刻胶在学会团体的EUV曝光中已经达到了全球最高性能的极限分辨率。

通过此次出资,使得JSR与Inpria公司在多方面进行合作,以加快极紫外光刻的商业实用化。
 
Inpria公司的发表内容如下(2020年2月20日公布)

「EUV Photoresist Pioneer Inpria Raises $31 Million in Series C Funding Led by JSR Corporation - Expanded Investor Group Reflects Growing Industry Support-」
 
【Inpria公司的概要】

公司名:Inpria Corporation
所在地:美国俄勒冈州科瓦利斯(Oregon State Corvallis)
公司代表:Andrew Grenville
业务内容:研发含有金属的EUV Resist(极紫外光刻)
成立时间: 2007年
事宜人群:
产品详情

JSR完成对Inpria Corporation增资,加快极紫外光刻商业化

JSR完成对Inpria Corporation增资,加快极紫外光刻商业化

CINNO Research 产业资讯JSR株式会社近日公布,已经完成对Inpria Corporation (以下简称为:“Inpria公司”)的增资。此次增加的投资将会成为Inpria公司C轮融资的一部分,而此次C轮融资是Inpria公司以推进EUV极紫外光刻的商业化为目的而募集的。


根据JSR官网报道,Inpria公司自成立以来,一直致力于研发含有非化学放大类的极紫外光刻,现在,以锡氧化物为主要成分的光刻胶在学会团体的EUV曝光中已经达到了全球最高性能的极限分辨率。

通过此次出资,使得JSR与Inpria公司在多方面进行合作,以加快极紫外光刻的商业实用化。
 
Inpria公司的发表内容如下(2020年2月20日公布)

「EUV Photoresist Pioneer Inpria Raises $31 Million in Series C Funding Led by JSR Corporation - Expanded Investor Group Reflects Growing Industry Support-」
 
【Inpria公司的概要】

公司名:Inpria Corporation
所在地:美国俄勒冈州科瓦利斯(Oregon State Corvallis)
公司代表:Andrew Grenville
业务内容:研发含有金属的EUV Resist(极紫外光刻)
成立时间: 2007年
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