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项目介绍:

CINNO Research 产业资讯,日本光侦测器制造商浜松(Hamamatsu Photonics)研发了一款可快速检测晶圆上micro LED的外观、辉度、发光波长是否有异常的“MiNYTM  PL micro LED PL 检测设备 C15740-01”。采用光致发光测量技术(Photo Luminescence,以下简称为“PL”)来检测micro LED的异常问题,所用光致发光测量技术是基于滨松自主研发的成像模组(Imaging Module)和图像处理技术。



MiNYTM PL系统在检测Micro LED芯片时能够快速判断芯片是否合格,这有利于提升显示用Micro LED产品的良率及Micro LED的研发效率。。此外,有望在未来的量产中有效地进行全数检车(全面检测)。自3月8日(星期一)起,开始向日本国内外的LED厂家、显示屏厂家销售此产品。

注:PL测量法,即Photo Luminescence,通过图像显示光激发发光,以不接触、不破坏的方式评价LED等产品的特性。
 
研发背景

单边尺寸在100微米(以下简称为“um”,是一米的百万分之一)以下的LED被称为“micro LED”。与液晶、有机EL(OLED)等传统显示屏相比,micro LED具有高辉度、低功耗、长寿命的特点,因此作为新一代显示屏具有良好的市场前景,正在推进提高良率的研发工作。

通常LED是运用可视光图像进行外观检查,用测试针对准晶圆上数万个LED并通电,通过使LED发光来检测其发光特性(EL检测)。然而,一片晶圆上有数百万颗micro LED,就难以再运用EL检测来实现全数检测。此外,虽然也可以运用分光器来检测发光特性,但单次检测的范围有限,因此迫切需要一种可全数检测micro LED外观,且可以快速检测其辉度、发光波是否有异常的设备。




产品概要

本产品是一种依据可视光、PL两种图像来快速检测晶圆上micro LED外观、辉度、发光波长的设备。

将由micro LED形成的、直径约为150mm的晶圆置于本产品上,即可通过可视光获得micro LED的缺陷、伤痕等外观信息。然后,通过PL图像获得辉度、发光波长的信息,汇总并解析以上信息来判断产品是否为良品。
 
检测结果的印象图(图片来源:浜松官网)
 
此次,浜松通过利用其自主研发的光学零部件组成的特殊结构摄像头,研发了这款成像模组(Imaging Module),它可以同时获得晶圆上micro LED的辉度、发光波长、PL图像(不使用分光器)。此外,由于能够将强度均匀且稳定的光(相对于照射面而言)照射在micro LED上以获得PL图像,因此可以获得较准确的检测结果。运用独特的图像处理技术分析由成像模组获得的有关外观、辉度、发光波长的信息,从而成功研发了此款可快速检测micro LED异常的设备。

运用本产品快速检测micro LED的外观、辉度、发光波长并判断产品的良劣,可以推动研发效率以提高产品良率。此外,有望在未来的量产产线中有效地进行全数检测。

此外,在推进研发高速检测micro LED的设备的同时,将与韩国、中国、中国台湾等地的当地法人合作,以亚洲地区为中心扩大销售。
 
产品的主要特点

1、可同时高速检测辉度、发光波长。

利用PL测量法,不仅可以检查micro LED的外观,还可以高速检测辉度、发光波长是否有异常。

2、此款新设备使EL检测法下无法实现的全数检测成为可能。

由于EL检查法需要花费大量时间,因此无法做到全数检测micro LED。本系统通过快速地检测micro LED的外观、辉度、发光波长是否有异常,有望实现micro LED高效地全数检测。

3、通过在工艺中全数检测,提高产品良率。

利用本产品,可以在生产过程中全数检测micro LED,以检测结果为基础,改善设计、生产工艺,有望提高产品的良率。

主要规格



  • 销售开始时间:2021年3月8日(星期一)

  • 价格(不含税):MiNYTM PL Micro LED PL检测设备 C15740-01, 100百万日元(约人民币610万元)。

  • 目标销售数量:最初5台/年,三年后10台/年。



MiNYTMPL micro LED PL 检测设备C15740-01( 图片来源:浜松官网)

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事宜人群:
产品详情

设备|滨松研发Micro LED芯片快速检测设备,已开始对外销售

设备|滨松研发Micro LED芯片快速检测设备,已开始对外销售

CINNO Research 产业资讯,日本光侦测器制造商浜松(Hamamatsu Photonics)研发了一款可快速检测晶圆上micro LED的外观、辉度、发光波长是否有异常的“MiNYTM  PL micro LED PL 检测设备 C15740-01”。采用光致发光测量技术(Photo Luminescence,以下简称为“PL”)来检测micro LED的异常问题,所用光致发光测量技术是基于滨松自主研发的成像模组(Imaging Module)和图像处理技术。



MiNYTM PL系统在检测Micro LED芯片时能够快速判断芯片是否合格,这有利于提升显示用Micro LED产品的良率及Micro LED的研发效率。。此外,有望在未来的量产中有效地进行全数检车(全面检测)。自3月8日(星期一)起,开始向日本国内外的LED厂家、显示屏厂家销售此产品。

注:PL测量法,即Photo Luminescence,通过图像显示光激发发光,以不接触、不破坏的方式评价LED等产品的特性。
 
研发背景

单边尺寸在100微米(以下简称为“um”,是一米的百万分之一)以下的LED被称为“micro LED”。与液晶、有机EL(OLED)等传统显示屏相比,micro LED具有高辉度、低功耗、长寿命的特点,因此作为新一代显示屏具有良好的市场前景,正在推进提高良率的研发工作。

通常LED是运用可视光图像进行外观检查,用测试针对准晶圆上数万个LED并通电,通过使LED发光来检测其发光特性(EL检测)。然而,一片晶圆上有数百万颗micro LED,就难以再运用EL检测来实现全数检测。此外,虽然也可以运用分光器来检测发光特性,但单次检测的范围有限,因此迫切需要一种可全数检测micro LED外观,且可以快速检测其辉度、发光波是否有异常的设备。




产品概要

本产品是一种依据可视光、PL两种图像来快速检测晶圆上micro LED外观、辉度、发光波长的设备。

将由micro LED形成的、直径约为150mm的晶圆置于本产品上,即可通过可视光获得micro LED的缺陷、伤痕等外观信息。然后,通过PL图像获得辉度、发光波长的信息,汇总并解析以上信息来判断产品是否为良品。
 
设备|滨松研发Micro LED芯片快速检测设备,已开始对外销售
检测结果的印象图(图片来源:浜松官网)
 
此次,浜松通过利用其自主研发的光学零部件组成的特殊结构摄像头,研发了这款成像模组(Imaging Module),它可以同时获得晶圆上micro LED的辉度、发光波长、PL图像(不使用分光器)。此外,由于能够将强度均匀且稳定的光(相对于照射面而言)照射在micro LED上以获得PL图像,因此可以获得较准确的检测结果。运用独特的图像处理技术分析由成像模组获得的有关外观、辉度、发光波长的信息,从而成功研发了此款可快速检测micro LED异常的设备。

运用本产品快速检测micro LED的外观、辉度、发光波长并判断产品的良劣,可以推动研发效率以提高产品良率。此外,有望在未来的量产产线中有效地进行全数检测。

此外,在推进研发高速检测micro LED的设备的同时,将与韩国、中国、中国台湾等地的当地法人合作,以亚洲地区为中心扩大销售。
 
产品的主要特点

1、可同时高速检测辉度、发光波长。

利用PL测量法,不仅可以检查micro LED的外观,还可以高速检测辉度、发光波长是否有异常。

2、此款新设备使EL检测法下无法实现的全数检测成为可能。

由于EL检查法需要花费大量时间,因此无法做到全数检测micro LED。本系统通过快速地检测micro LED的外观、辉度、发光波长是否有异常,有望实现micro LED高效地全数检测。

3、通过在工艺中全数检测,提高产品良率。

利用本产品,可以在生产过程中全数检测micro LED,以检测结果为基础,改善设计、生产工艺,有望提高产品的良率。

主要规格
设备|滨松研发Micro LED芯片快速检测设备,已开始对外销售



  • 销售开始时间:2021年3月8日(星期一)

  • 价格(不含税):MiNYTM PL Micro LED PL检测设备 C15740-01, 100百万日元(约人民币610万元)。

  • 目标销售数量:最初5台/年,三年后10台/年。



设备|滨松研发Micro LED芯片快速检测设备,已开始对外销售
MiNYTMPL micro LED PL 检测设备C15740-01( 图片来源:浜松官网)

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